
石化行业中国产化压力传感器的应用研究
目前,我国石化行业大量使用的智能压力变送器主要依靠进口,国产的智能压力变送器在产品种类和性能方面和国外还有一定的差距。实现压力传感器的国产化,对于国家的经济和国防安全,振兴民族产业等都具有重要意义。 在现代化连续生产的过程中,稳定可靠的智能压力变送器是生产工艺过程的有力保障。一旦出现计量错误,甚至发生停机故障,随之而来的经济损失将是无法计数的。智能压力变送器的稳定性和可靠性成为石化行业对压力变送器的首要需求。 通常,智能压力变送器的测量会随着工作环境和静压的变化而发生漂移。在一些微小的压力或者差压测量场合,这个漂移很可能是比较严重的。在不同的工作条件下,得到相对最正确的测量,从而维护生产的稳定和保证工艺的一致,是智能压力变送器稳定性的体现,也是石化行业对压力变送器稳定性的要求。 微智能压力传感器是采用半导体材料和MEMS工艺制造的新型压力传感器。与传统压力传感器相比,微压力传感器具有精度高、灵敏度高、动态特性好、体积小、耐腐蚀、成本低等优点。纯单晶硅的材料疲劳小,采用这种材料制造的微压力传感器的长期稳定性好。同时,微压力传感器易于与微温度传感器集成,增加温度补偿精度,大幅提高传感器的温度特性和测量精度。如果将2个微压力传感器集成,又可以实现静压补偿,从而提高压力传感器的静压特性。由此可见,微压力传感器具有许多传统压力传感器不具备的优点,能够很好地满足石化行业对压力传感器的需求。 在MEMS压力传感器科研及其产业化方面进行了一系列尝试,其生产的MEME压力变送器引进美国先进设备,基于国际先进的MEMS技术,采用先进的玻璃微溶生产工艺,运用国际先进的总线操作技术,宽温度数字补偿的数据采集调试系统,保证了产品的高品质,将严格的高品质标准和先进的合作理念带到中国。